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    成功案例/ Successful Cases
    大型氣相沉積爐

    大型氣相沉積爐

    主要技術參數:

    1. 高溫度:2000℃

    2. 使用空間:1500*2000

    3. 極限真空度:10-1Pa

    4. 加熱區:四区加热


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